MEMS

TECHLONOGY

 

微機電系統 (Micro-Electro-Mechanical System),是一種涵蓋許多應用領域的技術,包括機械、電機、材料、化學、物理、光學、生醫……等。它是繼電子元件與系統微小化對人類生活造成革命性影響之後,試圖將機械元件或系統也微小化,甚至也進一步在光學、生醫、化學及其他的各類感測器、致動器與儀器設備等微小化,所以可預見未來微機電系統將對人類社會產生另一波重大的影響。在現代尖端科技產品逐漸強調輕、薄、短、小的需求之下,微機電技術將成為不可或缺的功臣之一,特別是強調整合不同領域之特性,希望能達到積體化、高效率化、智慧化、低成本化、可量產化和高附加價值之目標。

 

            

                   Laser Diode and Zone                       Plate Refractive Microlens

                            Ming Wu, UCLA                                                           Ming Wu, UCLA

Micro actuator

(MAT)

Scientific American Nov.,1992